隨著工業(yè)機(jī)器人的發(fā)展，機(jī)器人在測(cè)量中的應(yīng)用也越來(lái)越受到重視。機(jī)器人測(cè)量具有在線、靈活、高效等特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)零件100%的測(cè)量。因此特別適合于自動(dòng)化制造系統(tǒng)中的工序間和過(guò)程測(cè)量。同坐標(biāo)測(cè)量機(jī)相比，使用靈活且易入線。

機(jī)器人測(cè)量分直接測(cè)量和間接測(cè)量，直接測(cè)量稱為絕對(duì)測(cè)量，是由機(jī)器人參與測(cè)試和數(shù)據(jù)處理，它要求機(jī)器人具有較高的運(yùn)動(dòng)精度和定位精度，因此造價(jià)也較高。間接測(cè)量也稱輔助測(cè)量，特點(diǎn)是在測(cè)量過(guò)程中機(jī)器人坐標(biāo)運(yùn)動(dòng)不參與測(cè)量過(guò)程，它的任務(wù)是模擬人的動(dòng)作將測(cè)量工具或傳感器送至測(cè)量位置，由測(cè)量?jī)x器完成測(cè)試和數(shù)據(jù)傳輸過(guò)程。間接測(cè)量對(duì)傳感器和測(cè)量裝置要求較高，由于允許機(jī)器人在測(cè)量過(guò)程中存在運(yùn)動(dòng)或定位誤差，因此，傳感器或測(cè)量?jī)x器應(yīng)具有一定的智能和柔性，能進(jìn)行姿態(tài)和位置調(diào)整并獨(dú)立完成測(cè)量工作。

測(cè)量機(jī)器人可以是一般的通用工業(yè)機(jī)器人，如在車削自動(dòng)線上，機(jī)器人可以在完成上下料工作后進(jìn)行測(cè)量，而不必為測(cè)量專門設(shè)置一個(gè)機(jī)器人，使機(jī)器人在線具有多種用途。
由于機(jī)器人測(cè)量具有在線、靈活、高效等特點(diǎn)，特別適合于fms中工序間和過(guò)程測(cè)量，在fms中已得到廣泛的應(yīng)用。