激光誘導(dǎo)光學(xué)薄膜損傷的機(jī)理研究屬于激光與物質(zhì)相互作用的范疇。從經(jīng)典的概念出發(fā)，高功率激光與光學(xué)介質(zhì)相互作用的物理過程主要可歸納為：介質(zhì)吸收入射激光能量的熱效應(yīng)和入射激光誘導(dǎo)的場效應(yīng)，現(xiàn)在一般的理論認(rèn)為連續(xù)激光以及脈寬在微秒量級的脈沖，激光誘導(dǎo)光學(xué)薄膜損傷的物理機(jī)制主要是熱效應(yīng)，在這種情況下，光學(xué)介質(zhì)吸收入射激光能量，使膜層溫度升高以至熔融斷裂，導(dǎo)致光學(xué)介質(zhì)的永久性破壞。